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等离子体被称为物质的第四形态 ，由电子、离子 、自由基和中性粒子组成。低温等离子气体净化器使用等离子 。以每秒800万至5000万次的速度反复轰击恶臭气体的分子
，使废气中的各种成分去除
、电离、裂解，从而发生氧化等一系列复杂的化学反应
。经过多级净化后 ，这些物质被转化为洁净的空气体，释放到大自然中。

低温等离子体废气净化设备的工作原理是利用高压发生器形成低温等离子体 。通过净化器的苯 、甲苯、二甲苯等废气分子在大量平均能量约为5eV的电子作用下
，转化为各种活性颗粒，与空气体中的O2结合生成H2O
、CO2等低分子物质 ，使废气

[/div]得到净化。

电晕等离子体去除污染物的机理:

电晕放电属于电极的不对称放电形式
。电子首先从电场中获得能量
，然后通过激发或电离将能量传递给分子或原子。获得能量的分子或原子被激发，同时一些分子被电离 ，从而成为活性基团 。大量高能电子轰击污染物分子
，使其电离、解离 、激发，进而引发一系列复杂的物理化学反应 ，使复杂的大分子污染物转化为简单的小分子物质
，或使物质转化为

[div]或低毒低害的物质，从而使污染物得到降解和去除
。因为电离后产生的电子的平均能量是10ev ，所以通过适当地控制反应条件
，可以实现通常困难或缓慢的化学反应。等离子体作为环境污染治理领域的潜在优势之一，引起了相关学科的高度重视 。

在等离子体化学反应过程中 ，等离子体化学能传递过程中的能量传递大致如下:

(1)电场+电子→电子

(2)电子+分子(或原子)→(受激原子
、受激基团、自由基团)活性基团

(3)活性基团+分子(原子)→产物+热量

工艺1:直接电子轰击

2.氧原子 、臭氧
、羟基和小分子碎片的产生
。

过程3:分子碎片的氧化

经过低温等离子体净化后，废气中仍含有一些小分子和臭氧。水洗过程可以进一步处理污染物
，降低废气中的臭氧含量 。所以在这个过程中，一些小分子可以被羟基自由基进一步氧化而被去除
。

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